2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[17a-C2-1~10] 8.4 プラズマエッチング

2013年9月17日(火) 09:15 〜 11:45 C2 (TC3 1F-102)

09:30 〜 09:45

[17a-C2-2] 酸素ガスクラスタービーム照射によるシリコン表面酸化プロセスの分子動力学シミュレーションⅡ

溝谷浩平,礒部倫郎,浜口智志 (阪大院工)

キーワード:ガスクラスタービーム