[17a-C2-1~10] 8.4 プラズマエッチング

△ [17a-C2-2] 酸素ガスクラスタービーム照射によるシリコン表面酸化プロセスの分子動力学シミュレーションⅡ

^○溝谷浩平，礒部倫郎，浜口智志 (阪大院工)

キーワード：ガスクラスタービーム