[17a-P15-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-P15-2] C₆H₆/N₂混合気体のマイクロ波フロー放電におけるラジカル計測

^○小嶋翔，津留紘樹，岡田亘太郞，山元愛弓，伊藤治彦 (長岡技科大工)

キーワード：水素化アモルファス窒化炭素膜,プラズマCVD