[17a-P15-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-P15-7] 縦型ノーマリオフCVDダイヤモンドFETにおける素子構造の適正化

^○見尾和俊，毎田修，伊藤利道 (阪大院工)

キーワード：ダイヤモンド,FET