[17p-B3-1~17] 15.6 IV族系化合物

[17p-B3-10] 三フッ化塩素ガスによるSiC成膜装置クリーニング法

福元祐介¹，^○水野浩輔¹，羽深等¹，石田夕起²，大野俊之² (横国大院工¹，FUPET²)

キーワード：リアクタクリーニング