[17p-B3-1~17] 15.6 IV族系化合物

[17p-B3-4] KrFエキシマレーザーの溶液中照射による4H-SiCへのAlのドーピング

^○丸井大地，池田晃裕，西紘史，池上浩，浅野種正 (九大)

キーワード：ドーピング,SiC,エキシマレーザー