2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[17p-B3-1~17] 15.6 IV族系化合物

2013年9月17日(火) 13:30 〜 18:00 B3 (TC2 1F-105)

15:15 〜 15:30

[17p-B3-8] 金属表面における炭化珪素薄膜の低温形成法(3)

津地雅希,廣岡亜純,羽深等 (横国大院工)

キーワード:炭化珪素