[17p-B4-1~18] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17p-B4-1] VドープZnO薄膜の初期成長過程の評価

^○森達哉，千葉博，奥田修平，川島知之，鷲尾勝由 (東北大院工)

キーワード：ZnO,バナジウム,透明導電膜