[17p-B5-1~21] 13.3 絶縁膜技術

[17p-B5-16] GeO₂/Ge構造におけるPost Metallization Annealingの改善効果

^○山口まりな，中谷友哉，岩崎好孝，上野智雄 (東京農工大・工)

キーワード：GeO₂,Post Metallization Annealing,吸湿性