[17p-B5-1~21] 13.3 絶縁膜技術

[17p-B5-6] 微小電極面積を有する極薄多結晶HfO2膜の電気的特性

^○戸村有佑¹，蓮沼隆¹，山部紀久夫¹，右田真司² (筑波大¹，産総研²)

キーワード：HfO2