[17p-C10-1~21] 11.4 アナログ応用および関連技術

[17p-C10-17] エピタキシャルTiN/AlN/TiN接合の作製

^○高﨑博行，成瀬雅人，田井野徹，明連広昭 (埼玉大院)

キーワード：TiN/AlN/TiN