[17p-D1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

△ [17p-D1-11] 軟X線照射による水素化DLC膜のグラファイト化

^○今井亮，新部正人，神田一浩 (兵庫県立大高度研)

キーワード：DLC,軟X線,放射光