[17p-D1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-D1-7] Si基板上に合成したアモルファスカーボン膜の整流特性

^○吉岡久志，大塩茂夫，小松啓志，戸田育民，村松寛之，齋藤秀俊 (長岡技術科学大)

キーワード：アモルファスカーボン膜,整流特性