[17p-D1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-D1-9] 水素化アモルファス炭素膜の化学気相析出過程からの水除去

^○周小龍，小松啓志，戸田育民，大塩茂夫，村松寛之，齋藤秀俊 (長岡技科大(院))

キーワード：水素化アモルファス炭素膜,化学気祖析出過程,水除去