[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[17p-P2-18] 非平衡プラズマジェットCVDに於けるガス流速がSi成膜品質に及ぼす影響の考察

^○井関将仁，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞 (岐阜大院工)

キーワード：非平衡プラズマジェット,ガス流速