[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[17p-P2-19] 衝突噴流群PECVD法を用いたSi薄膜の大面積化に関する考察

^○金田直也，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞 (岐阜大院工)

キーワード：衝突噴流