[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[17p-P2-29] 紫外光アシストHeプラズマによるn-GaN表面エッチングダメージ

^○川上烈生¹，新部正人²，中野由崇³，向井孝志⁴，白濱達夫¹，山田哲也¹，青木一馬¹，仲祐弥¹，高畑麻里¹，大場健太¹ (徳島大院工¹，兵庫県大高度研²，中部大総工研³，日亜化学⁴)

キーワード：n-GaN,紫外光,He plasma