[17p-P7-1~15] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-P7-1] 六方晶窒化ホウ素薄膜のサファイア基板上への高温化学気相成長におけるBCl₃供給量依存性

^○李惠映¹，梅原直己¹，桑原伊織¹，光野徹也¹，小南裕子¹，中西洋一郎¹，原和彦^1,2 (静大電子研¹，静大創造大院²)

キーワード：六方晶窒化ホウ素