[17p-P7-1~15] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-P7-3] ヒロック形成にともなうm面InGaN薄膜のIn組成分布観察

^○正直花奈子¹，花田貴¹，崔正焄¹，島田貴章¹，今井康彦²，木村滋²，谷川智之¹，片山竜二¹，松岡隆志¹ (東北大金研¹，JASRI²)

キーワード：m面InGaN,MOVPE,相分離