[17p-P8-1~7] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

[17p-P8-1] p-DCFET用SiGeチャネル層の真空アニールによる歪への効果

^○櫻澤健光，須田良幸，塚本貴広 (東京農工大　院工)

キーワード：歪み