[17p-P8-1~7] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

△ [17p-P8-6] 赤外線集中加熱炉を用いたSiGe単結晶厚膜の作製

^○（M1C）土屋匡範，長尾雅則，綿打敏司，田中功 (山梨大クリスタル研)

キーワード：SiGe,厚膜,赤外線集中加熱炉