2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

[17p-P8-1~7] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

2013年9月17日(火) 13:30 〜 15:30 P8 (デイヴィス記念館 )

13:30 〜 15:30

[17p-P8-7] 走査型電子顕微鏡を用いた貫通刃状転位起因の4H-SiC(0001)表面ステップテラス構造の観察

梶野智規,久津間保徳,芦田晃嗣,大谷昇,金子忠昭 (関学大理工)

キーワード:SiC,dislocation,SEM