[18a-B3-1~9] 15.6 IV族系化合物

[18a-B3-5] ラマン散乱を用いた4H-SiC単結晶の加工変質層評価

三谷武志^1,2，^○友部健²，中島信一²，加藤智久^1,2，奥村元^1,2 (FUPET¹，産総研²)

キーワード：raman,SiC