[18a-C1-1~5] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

[18a-C1-1] グラフェンへのHfO₂のプラズマ支援原子層堆積

^○北嶋武，中野俊樹 (防大電)

キーワード：グラフェン,原子層堆積