[18a-C1-1~5] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

[18a-C1-2] 大気圧プラズマ重合による有機薄膜の作製評価

^○野村亮太，中村竜介，六車仁志 (芝浦工大院)

キーワード：大気圧プラズマ重合