[18a-C1-1~5] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

△ [18a-C1-3] ラジカル注入型プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の結晶構造及びラジカル密度に対するガス流量効果

^○徐達，賈凌雲，中村将之，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝 (名大)

キーワード：amorphous carbon films,PECVD