[18a-C1-1~5] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

△ [18a-C1-5] プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の膜構造に対する基板バイアス印加効果

^○中村将之，賈凌雲，徐達，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝 (名大)

キーワード：amorphous carbon,a-C