[18a-C2-1~8] 8.4 プラズマエッチング

[18a-C2-3] 中性粒子ビームエッチングプロセスの総合的シミュレーション

渡辺尚貴¹，大塚晋吾¹，岩崎拓也¹，小野耕平¹，入江康郎¹，望月俊輔²，^○久保田智広³，寒川誠二^3,4 (みずほ情報総研¹，数理システム²，東北大流体研³，東北大WPI-AIMR⁴)

キーワード：中性粒子ビームエッチング,時間依存密度汎関数理論,モンテカルロ法