2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[18a-C2-1~8] 8.4 プラズマエッチング

2013年9月18日(水) 09:30 〜 11:45 C2 (TC3 1F-102)

10:00 〜 10:15

[18a-C2-3] 中性粒子ビームエッチングプロセスの総合的シミュレーション

渡辺尚貴1,大塚晋吾1,岩崎拓也1,小野耕平1,入江康郎1,望月俊輔2久保田智広3,寒川誠二3,4 (みずほ情報総研1,数理システム2,東北大流体研3,東北大WPI-AIMR4)

キーワード:中性粒子ビームエッチング,時間依存密度汎関数理論,モンテカルロ法