[18a-C2-1~8] 8.4 プラズマエッチング

[18a-C2-6] プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴（ESR）解析（5）

^○（M2）王浩然¹，石川健治¹，堀邉英夫²，竹田圭吾¹，近藤博基¹，関根誠¹，堀勝¹ (名大院工¹，金沢工大²)

キーワード：プラズマ,ESR