GaAs surface investigation for high density quantum nanodisk array with a bio-template top-down process

講演情報

一般セッション(口頭講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

[18a-D6-1~9] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

2013年9月18日(水) 09:30 〜 12:00 D6 (MK 3F-301)

11:15 〜 11:30

^○Cédric Thomas^1,3，田村洋典^1,3，肥後昭男²，岡田健¹，岡本尚文⁴，山下一郎⁴，寒川誠二^1,2,3 (東北大流体研¹，東北大WPI-AIMR²，JST-CREST³，奈良先端大⁴)

キーワード：量子ドット,中性粒子ビームエッチング,表面酸化膜除去