[18p-A4-1~18] 16.3 シリコン系太陽電池

[18p-A4-6] a-SiO:Hとa-SiC:Hの製膜プロセスの比較検討

^○柿本真之介¹，奥本凌二¹，傍島靖^1,2，佐田千年長^1,2，松田彰久^1,2，岡本博明^1,2 (阪大院基礎工¹，JST-CREST²)

キーワード：アモルファスシリコンカーバイド