[18p-B4-1~12] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

[18p-B4-2] 高平行度Ｘ線マイクロビームによる光導波路用Ｇｅ結晶の結晶性評価

^○尾上貴洋¹，硲和輝¹，福田修平¹，津坂佳幸^1,2，高野秀和^1,2，篭島靖^1,2，水野泰孝³，石川靖彦³，和田一実³，松井純爾² (兵庫県立大院物質理¹，兵庫県立大産学連携機構²，東京大院工³)

キーワード：半導体