[18p-C1-1~13] 13.2 半導体表面

[18p-C1-11] 枚葉式湿式洗浄機におけるシリコン酸化膜エッチング速度モデル

^○水野浩輔¹，大橋新太郎¹，羽深等¹，木下哲男² (横国大院工¹，プレテック²)

キーワード：エッチング反応