[18p-C1-1~13] 13.2 半導体表面

[18p-C1-13] CMP装置における表面帯電の膜質影響

^○石橋知淳，塩川陽一，渡辺和英 (荏原製作所)

キーワード：ウェーハ洗浄,帯電,絶縁膜