[18p-C5-1~8] 大電力パルススパッタリングによる反応性成膜プロセスの可能性（関連大分類：8）

[18p-C5-7] 小型 HIPIMS プラズマ源の開発とミニマルファブへの応用（30分）

^○小木曽久人^1,2，中野禅^1,2，行村健¹，加藤旭彦^2,3，薮田勇気^2,3，Sommawan Khumpuang^1,2，原史朗^1,2 (産総研¹，ミニマルファブ²，誠南工業³)

キーワード：HIPMS,Minimal Fab