[18p-C5-1~8] 大電力パルススパッタリングによる反応性成膜プロセスの可能性（関連大分類：8）

[18p-C5-8] HiPIMS-高密度金属プラズマが拓く未来（30分）

^○池畑隆 (茨城大理工)

キーワード：プラズマ,スパッタリング,薄膜