[18p-D1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-D1-1] Ti/n型ダイヤモンド薄膜界面におけるカーボン層形成後の酸素プラズマアッシングの効果

^○（DC）松本翼^1,2,3，白田和也^1,2,3，加藤宙光^2,3，徳田規夫^2,3,4，竹内大輔^2,3，牧野俊晴^2,3，小倉政彦^2,3，大串秀世^2,3，山崎聡^1,2,3 (筑波大¹，産総研²，CREST c/o AIST³，金沢大⁴)

キーワード：接触抵抗,ダイヤモンド