[18p-D1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-D1-14] 熱分解法によるNドープDLC薄膜の作製・評価

^○村田悠馬¹，田中勝己¹，小野洋¹，チャオキョン チュウ¹，永井豊¹ (電通大情報研先進理工¹)

キーワード：DLC,Amorphous carbon,窒素ドープ