[18p-D1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

△ [18p-D1-15] バンドギャップ傾斜アモルファス窒化炭素薄膜の作製

^○田村尚之，青野祐美，原田人萌，北沢信章，渡邉芳久 (防大材料)

キーワード：アモルファス窒化炭素,光電気伝導,バンドギャップ傾斜膜