[18p-D1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-D1-17] N₂の放電フローによるC₂H₂の分解 : レーザー分光法を用いたラジカル計測

^○津留紘樹，伊藤治彦 (長岡技科大工)

キーワード：水素化アモルファス窒化炭素膜,プラズマCVD