2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

06．薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[18p-D1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

2013年9月18日(水) 13:00 〜 17:45 D1 (MK 1F-101)

13:30 〜 13:45

△ [18p-D1-3] 高温アニールによる原子層堆積(ALD)Al2O3膜絶縁耐圧の向上

○車一宏，齊藤達也，大長央，平岩篤，川原田洋 (早大理工)

キーワード：原子層堆積,ダイヤモンド,アニール