[18p-D1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-D1-9] 低キャリア濃度で高T_cを示すホットフィラメントCVD法製ダイヤモンド超伝導膜

^○村岡祐治¹，平松千明¹，脇田高徳¹，横谷尚睦¹，組頭広志²，尾嶋正治³ (岡山大院自然科学¹，KEK物構研²，東大院工³)

キーワード：ダイヤモンド膜,超伝導,ホットフィラメント