[18p-P10-1~13] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[18p-P10-8] ナノワイヤトランジスタのBSIM4 モデルパラメータ抽出

^○田中千加，齋藤真澄，太田健介，沼田敏典，松下大介 (東芝　研究開発センター)

キーワード：parameter extraction