13:30 〜 15:30
[18p-P11-1] MOS型共振デバイスにおけるバイアス条件と共振特性の関係
キーワード：共振器,MOS型デバイス,音響波
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化
[18p-P11-1~5] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化
2013年9月18日(水) 13:30 〜 15:30 P11 (デイヴィス記念館 )
一般セッション(ポスター講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化
2013年9月18日(水) 13:30 〜 15:30 P11 (デイヴィス記念館 )
13:30 〜 15:30
キーワード：共振器,MOS型デバイス,音響波