[18p-P11-1~5] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化

[18p-P11-3] 集積化CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討

^○小西敏文¹，山根大輔²，松島隆明¹，丸山智史³，加賀谷賢²，伊藤浩之²，石原昇²，年吉洋³，町田克之^1,2，益一哉² (NTT-AT¹，東工大²，東大³)

キーワード：CMOS-MEMS,センサ回路,加速度センサ