2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化

[18p-P11-1~5] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化

2013年9月18日(水) 13:30 〜 15:30 P11 (デイヴィス記念館 )

13:30 〜 15:30

[18p-P11-4] アレイ型MEMS加速度センサの基本特性評価

山根大輔1,小西敏文2,松島隆明2,加賀谷賢1,佃真文1,伊藤浩之1,石原昇1,年吉洋3,町田克之1,2,益一哉1 (東工大1,NTT-AT2,東大3)

キーワード:CMOS-MEMS,加速度センサ,アレイ