[18p-P11-1~5] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化

△ [18p-P11-4] アレイ型MEMS加速度センサの基本特性評価

^○山根大輔¹，小西敏文²，松島隆明²，加賀谷賢¹，佃真文¹，伊藤浩之¹，石原昇¹，年吉洋³，町田克之^1,2，益一哉¹ (東工大¹，NTT-AT²，東大³)

キーワード：CMOS-MEMS,加速度センサ,アレイ