[18p-P11-1~5] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化

△ [18p-P11-5] エネルギーハーベストデバイスの検討(1)

^○加賀谷賢¹，小西敏文²，山根大輔¹，松島隆明²，佃真文¹，伊藤浩之¹，石原昇¹，年吉洋³，町田克之^1,2，益一哉¹ (東工大¹，NTT-AT²，東大³)

キーワード：エネルギーハーベスティング,CMOS-MEMS,金