[18p-P9-1~10] 13.3 絶縁膜技術

[18p-P9-3] ECRスパッタにより作成したSiおよびGe上SiN膜の考察

^○立川晋平，中谷友哉，岩崎好孝，上野智雄 (東京農工大工)

キーワード：SiN