[18p-P9-1~10] 13.3 絶縁膜技術

[18p-P9-5] SiN_x膜中へのH₂O, HBr分子の透過

^○奥友希，志賀俊彦，戸塚正裕，竹見政義 (三菱電機　波光電)

キーワード：耐湿性,シリコン窒化膜,ダングリングボンド