10:15 〜 10:30
[19a-A12-2] イオンビームアシスト成膜法によるc軸平行螺旋構造AlN薄膜の形成
キーワード：c軸平行螺旋構造,イオンビームアシスト成膜法
講演情報
一般セッション(口頭講演)
07．ビーム応用 » 7.6 イオンビーム一般
[19a-A12-1~8] 7.6 イオンビーム一般
2013年9月19日(木) 10:00 〜 12:00 A12 (TC1 3F-316)
一般セッション(口頭講演)
07．ビーム応用 » 7.6 イオンビーム一般
2013年9月19日(木) 10:00 〜 12:00 A12 (TC1 3F-316)
10:15 〜 10:30
キーワード：c軸平行螺旋構造,イオンビームアシスト成膜法