講演情報

Tweet

一般セッション(口頭講演)

07．ビーム応用 » 7.6 イオンビーム一般

[19a-A12-1~8] 7.6 イオンビーム一般

2013年9月19日(木) 10:00 〜 12:00 A12 (TC1 3F-316)

10:45 〜 11:00

[19a-A12-4] IBIECによる再結晶化後のアニールによるSi_1-xGe_x/Siの逆アニール現象

^○関根渉¹，山本康博¹，西村智朗² (法政大院理工¹，イオンビーム工研²)

キーワード：IBIEC,Reverse annealing effect,SiGe